简要说明：WTX1100x1400型箱式真空镀膜机

　　合理的配置，先进的控制系统；性能稳定可靠，抽速快，生产效率高，
特别适合大批量生产和科研镀制多层精密光学薄膜。其主要技术指标：

1.真空工作室系统

内腔尺寸：宽度X深度X高度＝1100X1100X1400mm 
真空系统：机械泵--国产2x-70型旋片泵，可根据需要选用进口泵
          罗茨泵--国产ZJ-300型罗茨泵，可根据需要选用进口泵
          扩散泵--采用两台国产K-500T油扩散泵 
                  单泵抽速为12500L/S
          深冷系统-- 可选配
          冷阱 --采用新型紧密水冷冷阱，有效降低扩散泵返油率
真空参数：极限真空  3X10-4Pa

          恢复真空时间：从大气抽至4X10-3Pa时间不大于15分钟

2.工件烘烤装置

采用上烘烤加热方式，多根不锈钢管状加热器作为加热源                             

      温度控制范围：常温到350 ℃        
采用PID温度控制系统，加热管功率多组独立可调                                    

      温度分布均匀度:±10℃ 

3.修正板机构:配有可倒式修正板，能进行自动控制

4.工件盘 :   采用整体工件盘，利于提高镀膜精度和均匀性

5.蒸镀系统:  
          蒸发方式--威特南光新型10KW电子枪；
                    亦可使用进口电子枪（如美国telemark, 德国Ferrotec的电子枪）

。
                    可选配电阻蒸发源
          控制方式--能进行自动或手动两种方式镀膜
6.膜厚监控系统:
          晶体膜厚控制仪  --MDC360石英晶体监控仪，亦可选用IC5
                           可配单片式、双片式或六片式探头
   光学膜厚监控系统--选配
7.充气系统:
          质量流量计控制系统。
          可选配VCC500压强控制仪
8.电气控制系统:  可实现抽真空和镀膜过程自动控制
                 亦可选配触摸屏界面